1.    簡介

1.1 產品簡介

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　　激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計量方法，是公認的高精度、高靈敏度的檢測儀器，在高端制造領域應用廣泛。

　　SJ6000激光干涉儀產品采用美國進口高穩定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現多種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光輸出，采用不同的光學鏡組可以測量出線性長度、角度、直線度、平行度、平面度以及垂直度等幾何量，並且可以進行動態測量分析。

　SJ6000激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量範圍大等優點。通過與不同的光學組件結合，可以實現線性長度、角度、平面度、直線度、垂直度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下，還可以對數控機床進行動態性能檢測；進行機床振動測試與分析；滾珠絲桿的動態特性分析；驅動系統的響應特性分析；導軌的動態特性分析等，為設備誤差修正提供依據。

2.    產品功能特點

2.1.   產品特點

精度高

      以激光干涉技術為核心，分辨力可達納米級；采用高精度環境補償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環境因素對測量結果的影響；使用激光熱穩頻控制系統，保證激光長期穩頻精度；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩定。

功能廣

      具有實現線性、角度、直線度、垂直度、回轉軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備運動導軌的線性定位精度、重復定位精度等；同時也能檢測運動導軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；並可以校準機床的回轉軸。

      可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為機床誤差修正的提供依據。

      具有動態測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率分析的功能，可進行機床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態特性分析，驅動系統的響應特性分析等。

      可自動監測環境溫度、材料溫度、環境濕度和大氣壓力的參數。可選擇手動或自動進行環境補償。

標準多

      內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共13份 。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，並可打印相應的曲線圖和數據報告。

便攜性

      使用方便︰準直激光後，輕易實現設備線性定位、重復定位精度、反向間隙、角度、直線度的測量。

      攜帶方便︰基本重量為15kg，簡單便攜。

可定制

      測量記錄采用集中式數據庫管理，可按被測件類型、生產單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數據輸出到Word、Excel文檔。

2.2.   分析標準配置

　　激光干涉儀測量分析軟件支持以下檢驗標準︰內置國內外通用的標準，含國標(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標、DIN(德標) 、JIS(日標)共13份 。可依據各種不同的機床標準分析處理數據，並可打印相應的曲線圖和數據報告。

深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。

中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎，擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊，歷經20年的技術積累和發展實踐，研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備，能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。

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